Sistem optic de scanare dinamică: 1 lentilă de focalizare mică, 1-2 lentile de focalizare, oglinda Galvo. Întreaga lentilă optică formează o funcție de extindere a fasciculului, focalizare și deflexie și scanare.
Partea de expansiune este o lentilă negativă, adică lentilă de focalizare mică, care realizează extinderea fasciculului și zoom în mișcare, lentila de focalizare este compusă dintr-un grup de lentile pozitive.Oglinda Galvo este o oglindă în sistemul galvanometru.
(1) Optimizarea designului lentilelor: raportul optim dintre diametru și grosime
(2) Prag ridicat de deteriorare a lentilei:>30J/cm2 10ns
(3) Acoperire cu absorbție ultra-scăzută, rata de absorbție: <20ppm
(4) Raportul dintre grosimea și diametrul galvanometrului: 1:35
(5) Precizia suprafeței lentilei:<= λ/5
Lentila post-obiective
| Pupila de intrare maximă (mm) | Optica 1 diametru (mm) | Optica 2 Diametru (mm) | Optica 3 diametru (mm) | Câmp de scanare (mm) | Diafragma clară de scaner (mm) | Lungime de undă |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10.6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Oglindă reflector
| descrierea piesei | Diametru (mm) | grosime (mm) | Material | Strat |
| Reflector de silicon | 25.4 | 3 | Siliciu | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Reflector de silicon | 30 | 4 | Siliciu | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Reflector de fibre | 25.4 | 6.35 | Silice topită | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Reflector de fibre | 30 | 5 | Silice topită | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Reflector de fibre | 50 | 10 | Silice topită | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| 532 Reflector | 25.4 | 6 | Silice topită | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflector | 25.4 | 6.35 | Silice topită | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflector | 30 | 5 | Silice topită | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflector | 50 | 10 | Silice topită | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 Reflector | 25.4 | 6 | Silice topită | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflector | 25.4 | 6.35 | Silice topită | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflector | 25.4 | 10 | Silice topită | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflector | 30 | 5 | Silice topită | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
Oglinda Galvo
| descrierea piesei | Pupila de intrare maximă (mm) | Material | Strat | Lungime de undă |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Siliciu | MMR@10.6um | 10.6um |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Silice topită | HR@1030-1090 nm | 1030-1090 nm |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Silice topită | HR@532nm | 532 nm |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Silice topită | HR@355nm | 355 nm |
Lentila de protectie
| Diametru (mm) | grosime (mm) | Material | Strat |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
