Sistem optic de scanare dinamică: 1 lentilă cu focalizare mică, 1-2 lentile cu focalizare, oglindă Galvo. Întreaga lentilă optică formează o funcție de expansiune a fasciculului, focalizare și deviere a fasciculului și scanare.
Partea de expansiune este o lentilă negativă, adică o lentilă focalizantă mică, care realizează expansiunea fasciculului și zoomul mobil, lentila de focalizare fiind compusă dintr-un grup de lentile pozitive. Oglinda galvo este o oglindă în sistemul galvanometru.
(1) Optimizarea designului lentilei: Raportul optim dintre diametru și grosime
(2) Prag ridicat de deteriorare a lentilei: >30J/cm2 10ns
(3) Acoperire cu absorbție ultra-scăzută, rată de absorbție: <20 ppm
(4) Raportul grosime/diametru al galvanometrului: 1:35
(5) Precizia suprafeței lentilei: <= λ/5
Lentilă post-obiectivă
| Elev maxim la intrare (mm) | Diametrul opticii 1 (mm) | Diametrul opticii 2 (mm) | Diametru optică 3 (mm) | Câmp de scanare (mm) | Apertură clară a scanerului (mm) | Lungime de undă |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 µm |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355nm |
Oglindă reflectorizantă
| Descrierea piesei | Diametru (mm) | Grosime (mm) | Material | Acoperire |
| Reflector de silicon | 25,4 | 3 | Siliciu | HR@10.6um,Area de interes: 45° |
| Reflector de silicon | 30 | 4 | Siliciu | HR@10.6um,Area de interes: 45° |
| Reflector cu fibră | 25,4 | 6.35 | Silice topită | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Reflector cu fibră | 30 | 5 | Silice topită | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Reflector cu fibră | 50 | 10 | Silice topită | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Reflector 532 | 25,4 | 6 | Silice topită | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| Reflector 532 | 25,4 | 6.35 | Silice topită | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| Reflector 532 | 30 | 5 | Silice topită | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| Reflector 532 | 50 | 10 | Silice topită | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| Reflector 355 | 25,4 | 6 | Silice topită | HR@355nm și 433nm, AOI: 45° |
| Reflector 355 | 25,4 | 6.35 | Silice topită | HR@355nm și 433nm, AOI: 45° |
| Reflector 355 | 25,4 | 10 | Silice topită | HR@355nm și 433nm, AOI: 45° |
| Reflector 355 | 30 | 5 | Silice topită | HR@355nm și 433nm, AOI: 45° |
Oglindă Galvo
| Descrierea piesei | Elev maxim la intrare (mm) | Material | Acoperire | Lungime de undă |
| 55mmL*35mmL*3.5mmT-X 62mmL*43mmL*3.5mmT-Y | 30 | Siliciu | MMR@10.6um | 10,6 µm |
| 55mmL*35mmL*3.5mmT-X 62mmL*43mmL*3.5mmT-Y | 30 | Silice topită | HR@1030-1090nm | 1030-1090nm |
| 55mmL*35mmL*3.5mmT-X 62mmL*43mmL*3.5mmT-Y | 30 | Silice topită | HR@532nm | 532nm |
| 55mmL*35mmL*3.5mmT-X 62mmL*43mmL*3.5mmT-Y | 30 | Silice topită | HR@355nm | 355nm |
Lentilă de protecție
| Diametru (mm) | Grosime (mm) | Material | Acoperire |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2,5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
